華睿芯材科技有限公司由北京華睿新能動力科技發展有限公司與清華大學（清華控股華控技術轉移有限公司）、清華大學教授團隊共同出資設立，注冊資本3200萬已實繳到位。公司專注于半導體光刻膠及其配套化學品等關鍵微電子材料的研發，半導體高端光刻膠的產業化適配，高端光刻膠的量產。公司定位為以科技創新解決光刻膠“卡脖子”難題，滿足國家半導體產業重大戰略需求，本司致力成為國際一流光刻膠創新技術領先企業。華睿芯材科技有限公司是中國為數不多能自主全面掌握光刻膠核心原材料、配方及應用技術的先進光刻膠公司，公司積累已大量原創技術，能對生產光刻膠性質進行調控。本司能生產EUV光刻膠、DUV光刻膠、電子束光刻膠以及高速3D打印光刻膠，各類光刻膠性能指標優異，部分性能測試結果已在國際頂級期刊見刊。其中高端電子束已在國內光電芯片龍頭企業成功進行了流片驗證。